掩模板

掩模板介绍

镀膜夹具、、根据客户需求，用金属不锈钢材料经过化学蚀刻加工以及真空扩散焊接而成的晶片清洗和真空镀膜用的一种夹具。

掩模板特点

1、掩膜片是石英晶体或晶片的双面溅射的装置，也可以称为掩膜夹具，它包括真空腔体、真空抽气机组、工件架、磁控溅射靶、射频等离子清洗器和惰性气体充气器。

2、所述真空抽气机组和惰性气体充气器分别与真空腔体相连，其特征在于所述真空腔体中设有工件架，该工件架能转动，所述工件架上安装有能翻转的基片架，所述基片架上设有载片盘，所述载片盘上设置有石英晶体片和掩膜片，工件架的一侧至少设置两个带挡膜罩的磁控溅射靶。

3、另一侧设置一个射频等离子在线清洗器，其中一个磁控溅射靶为过渡层溅射靶，其它磁控溅射靶为电极层溅射靶。

4、掩膜夹具通常的综合厚度都在1.0mm以上，双面都有不同形状和深度的腔体，制作时通常是分层蚀刻，然后通过真空扩散焊接的方式把板子贴合在一起的。

应用领域

掩膜板主要是作为大学研究所，研发蒸镀。

蚀刻工艺特点

1、低开模费,可以按设计人员的设计要求进行任意更改，成本低

2、能实现金属的半刻，增加公司LOGO，实现品牌化生

3、精密度可达+/-0.0075mm的精度，满足不同产品的组装要求

4、复杂外形产品同样可以蚀刻，无需额外增加成本

5、没有毛刺，压点，产品不变形,不改变材料性质，不影响产品的功能

6、厚薄材料都可以一样加工，满足不同装配组件的要求

7、几乎所有金属都能被蚀刻，对各种图案设计无限制

8、制造各类机械加工所无法完成的金属部件